機器一覧

デュアルイオンミリング装置

 透過・走査型電顕用の超薄膜試料調製のための装置である。試料表面をイオン照射により削る。すり鉢状に削られ、ピンホールがあくとミリングが停止し、その周辺部がTEM観察用に利用される。独立に2個の試料をミリングできる。金属・セラミックス・半導体・高分子に使用できる。

 試料はあらかじめ、30~50μmの厚さに調製したもの(直径3mm以上)を用意する。ミリングレートは試料、電圧・電流によって異なるが、50μmの厚さの銅の場合、5時間以内にミリングが完了する。

機器名 デュアルイオンミリング装置
メーカー・形式 ガタン 600
主な用途 電顕用超薄切片の作製
デュアルイオンミリング装置

真空蒸着装置

 高真空中で材料を加熱蒸発させ、この蒸発粒子を基板上に沈着させて薄膜を形成するものである。金属・半導体(高融点材料は蒸発できない)、有機物などの蒸着ができる。主ポンプとして、油拡散ポンプ、補助ポンプとして油回転ポンプを使用し、到達真空度は液体窒素トラップを使用した場合、10-6Torr台である。3点式の抵抗加熱になっている。400℃までの基板加熱ができる。ベルジャ-の昇降は手動で行う。試料(基板)の大きさは、標準10cm、最大で18cm、厚さ10mm以内。蒸着材料と加熱用ボ-ト(長さ100mm)、液体窒素は利用者で用意する。

機器名 真空蒸着装置
メーカー・形式 アルバック九州 NIS-400
主な用途 金属、半導体、有機物などの薄膜形成
真空蒸着装置

真空蒸着装置

 試料表面にカーボンをコーティングする。

機器名 真空蒸着装置
メーカー・形式 日本電子 JEE-400
主な用途 試料表面に導電性薄膜を形成する
真空蒸着装置

イオンコーター

 走査型電顕用試料の表面を導体化するために、金をコーティングする装置である。生物、高分子材料等のイオンエッチングも行える機能をもつ。

機器名 イオンコーター
メーカー・形式 エイコーエンジニアリング IB-2
主な用途 試料表面に金をコーティングする
イオンコーター

高分子フィルム二軸延伸器

 高分子フィルムの延伸試料を作製する装置。フィルムを一方向へ延伸する、直角な二方向へ同時に延伸する、あるいは、一方向ずつ逐次延伸することができる。使用温度範囲は室温から300度。有効試料寸法は、3cm×3cm、厚さは、10μmから1mmまで。最大延伸倍率6倍、延伸速度は1分間に15mm、20mm、30mmの3種。

機器名 高分子フィルム二軸延伸器
メーカー・形式 柴山科学器械製作所
主な用途 高分子フィルムの延伸試料の作製
高分子フィルム二軸延伸器

マイクロカッティングマシン

 ダイヤモンド粉を付けたバンドソーで、試料を最小厚み100ミクロンに切り出すことができる。セラミックスなどの硬いものや光学顕微鏡、電子顕微鏡試料の前処理切りだしに利用できる。潤滑剤として水あるいは油との混合液を用いる。バンドソーは利用者で用意する。

機器名 マイクロカッティングマシン
メーカー・形式 EXAKT社 BS-3000N-A
主な用途 セラミックスなどの硬いものや、光顕、電顕試料を薄く切り出す
マイクロカッティングマシン

高速大容量冷却遠心機

 試料を高速で回転させ、その時に得られる遠心力を用いて、試料を密度差で分離するための装置であり、試料に遠心力をかけるためのローターとそれを回転させるための駆動部からなる。ローターには。固定角ローター(アングルローター)、水平ローター(スィングローター)などがあり、それぞれのローターには、容量、最高回転数が決められており、実験の目的に合わせて最適なものを選択する必要がある。

機器名 高速大容量冷却遠心機
メーカー・形式 KUBOTA 7780 Ⅱ
主な用途 生物試料などの遠心分離
高速大容量冷却遠心機

遠心式ボールミル

 遠心式ボールミルは、試料を粉砕する機械。一般の実験試料から固形物、浮遊粒、乳剤のようなコロイド状の粒子を微粉砕するだけでなく、それらを均一混合するのにも使用できる。蛍光X線分析用の試料作り、ICP発光分析・原子吸光分析用試料の前処理などに利用できる。 回転スピードは、300rpm~700rpm、タイマー設定時間は1分~60分まで。
 使用できる容器は500ml、250mlの場合は1個、80mlの場合は2個あるいは、アダプターを使用して1個とすることができる。センターではメノー製容器250mlを1個、メノー製粉砕ボール、10mmφを備えているが、これ以外のものは、利用者で準備する。
 試料の大きさは最大10mmで、最終的に粉砕される粒度は、乾式で1ミクロン、湿式(水などの液体を入れる場合)では0.5ミクロン。

機器名 遠心式ボールミル
メーカー・形式 フリッチュ・ジャパン P-6
主な用途 固体試料の粉砕
遠心式ボールミル

キュリーポイントインジェクタ

 マイクロシリンジと同じ動作で、固体試料をGC/MSに導入できるインジェクターである。従来のパイロライザーの手間を省くことができることから、ポータブルパイロライザーとも呼ばれている。この装置を用いることで、GC/MSによる高分子材料の組成や微細構造の簡易な解析が可能となる。また、付属の吸着管にガスを捕集することで、大気や室内環境の分析や試料より発生するアウトガスの分析も可能となる。
 一回に注入する固形試料は0.1mg以下が望ましい。試料が多すぎると、装置の流路、GCのカラム、MSの検出部を汚染する可能性がある。

機器名 キュリーポイントインジェクタ
メーカー・形式 日本分析分析工業 JCI-22
主な用途 固体・液体試料の熱分解、気体成分の加熱濃縮
キュリーポイントインジェクタ

粉体大気圧プラズマ処理装置

 本学総合機器センターの研究成果を基に、製品化された装置である。誘電体バリア放電で発生させたグロープラズマによって、粉体試料の表面処理を均一に行う装置。プラズマガスは、ヘリウムをベースに窒素、酸素、アルゴン等を選択することにより、各種官能基を粉体表面に付加することができる。ポリマー、セラミックスなどの絶縁性の粉体を対象とするが、フィルム、繊維も処理できる。放電容器は、標準容器(容積120cc)と大型容器(容積360cc)がある。プラズマ出力は最大2kWである。

機器名 粉体大気圧プラズマ処理装置
メーカー・形式 九州計測器 Plamino
主な用途 粉体試料の表面処理を均一に行う
粉体大気圧プラズマ処理装置